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石英坩堝生產(chǎn)工藝過(guò)程會(huì)產(chǎn)生大量石英粉塵，加上現(xiàn)場(chǎng)循環(huán)式空調(diào)機(jī)組的設(shè)計(jì)，空調(diào)機(jī)組濾網(wǎng)更換頻次極高。根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)空調(diào)機(jī)組現(xiàn)狀、安裝空間以及石英坩堝生產(chǎn)工藝產(chǎn)生大量粉塵的特點(diǎn)，要想達(dá)到萬(wàn)級(jí)潔凈效果，必須重點(diǎn)解決車(chē)間內(nèi)回風(fēng)口進(jìn)入顆粒物過(guò)多的問(wèn)題，否則無(wú)法保證整體凈化系統(tǒng)的效率。

解決方案：

考慮到萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)于0.5um顆粒數(shù)量的要求，目前產(chǎn)品技術(shù)在一次凈化效率尚無(wú)法達(dá)到相關(guān)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，推薦 使用循環(huán)的方式實(shí)現(xiàn)最終的效果。

以等離子體凈化技術(shù)代替中效濾網(wǎng)和大部分高效濾網(wǎng)的除塵，核心部件（等離子體反應(yīng)器）可通過(guò)清潔重復(fù)使 用，減少中效濾網(wǎng)的使用成本。